半导体真空电缆选型指南:低释气、耐高温,一篇讲透
半导体刻蚀、PVD/CVD 薄膜沉积、离子注入等前道核心工艺,都在高真空密闭腔体内完成。腔体长期处于高真空、高温交变、工艺气体腐蚀、等离子体
了解详细